MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM

Taban basıncı 5E-9torr (istek üzerine 5E-10 kadar)
4-eksenli manipülatör
Isıtma sıcaklığı 900 ° C
6 manyetik alana kadar sıçratma
Z-hareket ve kontrol yazılımı ile  Tek / Çift maske sistemi
Basınç kontrol sistemi
680l / s Pfeiffer turbo pompa
Hassas aralık vakum ölçer
Kapsamlı vakum ölçer ve turbo pompa Standart High-Lock
Tam sistem kontrolü yazılımı ile 23 “dokunmatik ekranlı bilgisayar