Moleküler Beam

 

UHV Basınç: 5x10E-10 torr
Lazer ısıtma sistemi ile 4 eksen manipülatör
Isıtma sıcaklığı 1200 ° C ± 1 ° C
2-10 efüzyon hücreleri
Işın Akı monitörü
Basınç kontrolü
1700l / s cryo pompa
680l / s Pfeiffer turbo p.
Hassas vakum ölçer
Tam kapsamlı vakum ölçer ve 300l / s Turbo
Yüksek Basınçlı RHEED
Geniş alan ve çoklu bağlantı noktası
Tam sistem kontrolü yazılımı ile 23 “dokunmatik ekranlı bilgisayar