Sputter  İnce Film Kaplama Sistemleri

 

sputter ve polimerizasyon sistemleri

 

  • Labview yazılımı ile full otomatik bilgisayar kontrolü,
  • Modüler sistemler,
  • İsteğe bağlı manual sistemler,
  • SS316 yada SS304 malzemeden üretilmiş vakum kazanları,
  • Quartz cam gözleme pencereleri,
  • Isıtma ve döner perdeleri,
  • Standart  KF, CF, ISO flanj bağlantıları,
  • İç kamera ve aydınlatma sistemi,
  • 10-9 Torr taban basınç düzeyleri,
  • Turbomoleküler + Mekanik pompa seti, cryo pompa ve difuzyon pompa setleri,
  • 1000- 10-9 Torr ölçüm bölgesi için geniş yelpaze vakum kontrol sistemi,
  • 300°C lik örnek ısıtma-döndürme birimi,
  • 10 adete kadar saçtırma katotu,
  • Kapalı devre su soğutma sistemi,
  • 0.1 Å/s hassasiyetli çift kanal kalınlık ölçme birimi,
  • RF ve DC saçtırma katotları,
  • Bilgisayar kontrollu Kütle akış metreli gaz girişleri,
  • Vakum izolasyon vanaları,
  • iletken ve yalıtkan film kaplama imkanları,
  • PVD katotik ark sistemi.

 

Kaplanabilen Malzemeler

  • Metal
  • Krom kaplama
  • Gümüş kaplama
  • Altın kaplama
  • Alüminyum kaplama
  • ITO kaplama
  • ZNO kaplama