Magnetron Sputter Sistem

  • Z-hareket ve kontrol yazılımı ile Tek / Çift maske sistemi
  • Basınç kontrol sistemi
  • Hassas aralık vakum ölçer
  • Tam sistem kontrolü yazılımı ile 23 “dokunmatik ekranlı bilgisayar
Kategoriler: Etiketler: ,
  • Taban basıncı 5E-9torr (istek üzerine 5E-10 kadar)
  • 4-eksenli manipülatör
  • Isıtma sıcaklığı 900 ° C
  • 6 manyetik alana kadar sıçratma
  • Z-hareket ve kontrol yazılımı ile Tek / Çift maske sistemi
  • Basınç kontrol sistemi
  • 680l / s Pfeiffer turbo pompa
  • Hassas aralık vakum ölçer
  • Kapsamlı vakum ölçer ve turbo pompa
  • Standart High-Lock
  • Tam sistem kontrolü yazılımı ile 23 “dokunmatik ekranlı bilgisayar
Brand

Hitachi, Mitsubishi