- UHV Basınç: 5x10E-10 torr
- Lazer ısıtma sistemi ile 4 eksen manipülatör
- Isıtma sıcaklığı 1200 ° C ± 1 ° C
- 2-10 efüzyon hücreleri
- Işın Akı monitörü
- Basınç kontrolü
- 1700l / s cryo pompa
- 680l / s Pfeiffer turbo p.
- Hassas vakum ölçer
- Tam kapsamlı vakum ölçer ve 300l / s Turbo
- Yüksek Basınçlı RHEED
- Geniş alan ve çoklu bağlantı noktası
- Tam sistem kontrolü yazılımı ile 23 “dokunmatik ekranlı bilgisayar
Moleküler Beam
- Işın Akı monitörü
- Basınç kontrolü
- Hassas vakum ölçer
- Tam sistem kontrolü yazılımı ile 23 “dokunmatik ekranlı bilgisayar
